Substrate

Materialien
	Aluminiumoxidkeramik 99.6% (Al2O3)
	Aluminiumnitridkeramik (AIN)
	Quarzglas
	alkaliarmes Borosilikatglas
	andere Keramiken auf Kundenwunsch
Abmessungen
	Standard: 2“ x 2“, 4“ x 4“
Dicke
	Keramiksubstrate: 0.254 mm; 0.381 mm; 0.635 mm
	Quarzglas: 0.178 mm; 0.254 mm
	andere Dicken auf Kundenwunsch

Leiterbahnen

Materialien
	TiW / Au
	TaN / TiW / Au
	TiW / Pd / Au
	CrNi / Cu
Oberflächen
	chem. Ni + Au auf Kupfer (löt- und bondfähig)
	galv. Ni + Au auf Kupfer (löt- und bondfähig)
	galv. Au (bondfähig)
	chem. Sn auf Cu (lötfähig)
	Hartgold
	Pd-Lötschicht gesputtert
Leiterbahnbreite & Abstände
	min. 5 µm
	Toleranz: min. +/- 2 µm

Widerstände

Material
	CrNi (einstellbarer Temperaturkoeffizient)
	TaN (hochstabil)
Flächenwiderstand
	20 ... 200 Ohm/sq
Laserabgleichtoleranz
	Standard: < 0.5 %; min. < 0.1 %
Temperaturkoeffizient
	CrNi: einstellbar von -20 bis +60 ppm/K
	TaN: -90 ppm/K
	Tracking: < 5 ppm/K

Technische Möglichkeiten

	Laserschneiden, -bohren
	Vereinzeln durch Sägen
	Mehrebenentechnik mit Durchkontaktierungen
	Schutzlackdruck